Инкрементальные линейные энкодеры с концевыми выключателями
Область применения открытых линейных датчиков:
- Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода
Технические характеристики |
LIDA 403 |
|||||||||||||
Стандарт измерения Коэффициент теплового расширения |
Макетная решетка METALLUR на стеклянную керамику или стекло; период решетки 20 мкм αtherm ≈ 8 x 10-6 K-1 (стекло) αtherm = (0 ± 0,5) x 10-6 K-1 (керамика Robax) |
|||||||||||||
Класс точности |
± 1 мкм (только для керамики Robax), ± 3 мкм, ± 5 мкм |
|||||||||||||
Исходная ошибка |
≤ ± 0.275 мкм / 10 мм |
|||||||||||||
Длина измерения в мм |
240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 |
|||||||||||||
Опорные метки |
LIDA 4x3: один в средней точке измерительной длины; LIDA 4x3C: дистанционное кодирование |
|||||||||||||
Масса |
3 г+ 0,11 г/мм |
Сканирующая головка |
LIDA 48 | LIDA 47 | |||
Интерфейс |
∼1 Vpp | TTL | |||
Интегрированная интерполяция Период сигнала |
– 20 мкм |
5-fold 4 мкм |
10-fold 2 мкм |
50-fold 0.4 мкм |
100-fold 0.2 мкм |
Частота среза -3 дБ |
≥ 400МГц |
- | |||
Частота сканирования |
– |
≤ 400 МГц ≤ 200 МГц ≤ 100 МГц
≤ 50 МГц |
≤ 200 МГц ≤ 100 МГц ≤ 50 МГц
≤ 25 МГц |
≤ 50 МГц ≤ 25 МГц ≤ 12.5 МГц
|
≤ 25 МГц ≤ 12.5 МГц ≤ 6.25 МГц
|
Разделение края |
– |
≥ 0.100 мкм ≥ 0.220 мкм
≥ 0.465 мкм
≥ 0.950 мкм |
≥ 0.100мкм ≥ 0.220 мкм
≥ 0.465 мкм
≥ 0.950 мкм |
≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм ≥ 0.370 мкм |
≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм ≥ 0.370 мкм |
Скорость перемещения |
≤ 480 м/мин |
≤ 480 м/мин ≤ 240 м/мин
≤ 120 м/мин
≤ 60 м/мин |
≤ 240 м/мин ≤ 120 м/мин
≤ 60 м/мин
≤ 30 м/мин |
≤ 60 м/мин ≤ 30 м/мин ≤15 м/мин |
≤ 30 м/мин ≤ 15 м/мин ≤ 7,5 м/мин |
Ошибка интерполяции Потенциальный шум R |
± 45 мкм | ||||
Концевые выключатели | L1 / L2 с двумя разными магнитами; выходные сигналы: TTL (без линейного драйвера) | ||||
Электрическое подключение |
Кабель 0,5 м, 1 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub |
||||
Длина кабеля |
≤ 20 м; (с кабелем HEIDENHAIN) |
||||
Источник питания |
DC 5 В ±0.25 В |
||||
Потребляемая мощность |
≤ 130 мА |
≤ 150 мА (без нагрузки) |
|||
Вибрация 55 Hz - 2000 Hz Удар 6 мс |
≤ 500 м/с2 (IEC 60068-2-6) ≤ 1000 м/с2 (IEC 60068-2-27) |
||||
Температура эксплуатации |
-10°C - 70 °C |
||||
Масса
|
Сканирующая головка ∼ 20 г (без кабеля)
Разъем 75 г Соединительный кабель ∼ 32 г/м |
Оставьте заявку
Перезвоним в течение рабочего дня. Обсудим задачи, найдем оптимальное решение и запланируем работы.
Будем на связи!